Всем спасибо, победил я этот МК. Подключил самодельный USBasp, выставил низкую скорость SPI.
Итог: фьюзы выставились, прошивка заливается и читается, правда очень медленно.
Залил загрузчик ардуино, через USB-TTL загрузка идет быстро. Получил ардуино на меге64.