Чтобы снести после сбоя установки Atmel Studio 7, нужно сначала найти в "C:\ProgramData\Package Cache" копию инсталлятора, удалить его оттуда,а потом запустить опять установку с диска/внешнего носителя (лучше всё же скачать оффлайновый инсталлятор,видимо), тогда установщик предложит или деинсталлировать сбойную инсталляцию, или попытаться её "отремонтировать" .